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一、夹具平台（base）的要求图1 平台的基本构造1、精度：平面度 0.1mm以下；粗糙度Ra3.2以下；测量点的间距应保证在 300X300以上。2、强度：平台面的厚度建议为25mm。3

2018年5月，中芯国际（SMIC）订购了一套极紫外光刻（EUV）设备，该设备来自荷兰芯片设备制造商ASML，价值1.2亿美元。长江存储的首台光刻机同样来自ASML，为193nm浸润式光

加工精度是指零件加工后的实际几何参数(尺寸、形状和位置)与理想几何参数的符合程度。在机械加工中，误差是不可避免的，但误差必须在允许的范围内。通过误差分析，掌

一个好的机械工艺工程师，一定是一个好的加工设备应用工程师，对机械行业的各种加工设备的类型、加工适用范围、结构特点、加工精度等非常精确而充分的了解，同时也可

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CNC加工中心的加工过程中，有一点至关重要，那就是在编制程序和操作加工时，一定要避免使CNC加工中心发生碰撞。因为CNC加工中心的价格非常昂贵，少则几十万元，多则上

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